Sensor de temperatura óptico basado en los efectos termo ópticos del silicio

Abstract

Este trabajo presenta un tipo de sensor de temperatura óptico, basado en la variación de temperatura de una oblea de silicio de 368.143 µm de espesor, unida a una fibra monomodo con una mini cavidad de aire, que actúan como interferómetros Fabry-Perot Con esta estructura se presenta la implementación de un sensor de temperatura el cual tiene una gran sensibilidad de 1.3167°C/V y una alta resolución del orden de 0.0003°C para un rango dinámico corto de 8.6 a 13.8°C. Se presenta el modelado del sensor y estos resultados se respaldan con resultados experimentales.